CN1-6-M-B35D-1-4-E CN2-6-M-B35D-1-4-D-XM170高温熔体压力传感器 变送器 杰佛伦 GEFRAN

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GefranCN系列是在高温环境中使用的压力变送器。该系列的主要特点是能够读取介质的温度高达400°C。构造原理是基于压力的水力传递。流体填充系统保证了温度的稳定性。利用应变计技术将物理测量方法转化为电气测量方法。vr9广州南创电子科技有限公司
杰佛伦CN系列产品应用：橡塑挤出机、工业自动化、压缩机、油齿轮箱、移动液压系统、土方转运机械、公用事业车辆、冷冻系统、泵机、材料检测设备试验台、冷却器系统、吹塑机等。vr9广州南创电子科技有限公司
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意大利杰佛伦gefran高温熔体压力传感器CN1-6-M-B35D-1-4-E的灵敏元件是半导体薄膜，它能够由单晶硅、多晶硅等运用半导体工艺制造而成。典型的电容式传感器由上下电极、绝缘体和衬底构成。当薄膜受压力作用时，薄膜会发生必定的变形，因而，上下电极之间的间隔发生必定的改变，然后使电容发生改变。但电容式压力传感器的电容与上下电极之间的间隔的联系对错线性联系，因而，杰佛伦gefran压力传感器CN1-6-M-B35D-1-4-E要用具有补偿功用的丈量电路对输出电容进行非线性补偿。因为高温压力传感器作业在高温环境下，补偿电路会遭到环境温度的影响，然后发生较大的差错。根据模型辨认的高温压力传感器，正是为了防止补偿电路在高温环境下作业发生较大差错而规划的，其规划方案是把传感器材与扩大电路别离，经过模型辨认来得到所测环境的压力。高温作业区温度可达350℃。传感器材由铂电阻和电容式压力传感器构成。其MEMS工艺如下：高温压力传感器由硅膜片、衬底、下电极和绝缘层构成。其中下电极坐落厚支撑的衬底上。杰佛伦gefranCN2-6-M-B35D-1-4-D-XM170变送器电极上蒸镀一层绝缘层。硅膜片则是运用各向异性腐蚀技能，在一片硅片上从正反面腐蚀构成的。上下电极的空隙由硅片的腐蚀深度决议。硅膜片和衬底运用键合技能键合在一起，CN2-6-M-B35D-1-4-D-XM170压力传感器杰佛伦GEFRAN构成具有必定稳定性的硅膜片电容压力传感器［2］。因为铂电阻耐高温，且对温度灵敏，选用铂电阻，CN1-6-M-B35D-1-4-E高温熔体压力传感器变送器GEFRAN杰佛伦既能够当一般电阻运用，又能够作为温度传感器用以勘探被测环境的温度。金属铂电阻和硅膜片的参数为：0℃时铂电阻值为1000Ω;电阻率为1.0526316&TImes;10-5Ω·cm;密度为21440kg/m3;比热为132.51J/（kg·K）、熔断温度为1769℃，故铂电阻可加工为宽度为0.02mm;厚度为0.2μm;总长度为3800μm，制造成锯齿状，可在幅值为10V的阶跃信号下正常作业。电容式压力传感器的上下电极的空隙为3μm、圆形平板电容上下电极的半径为73μm、其电容值为50pF。vr9广州南创电子科技有限公司
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